メムスマップ510は微小測定物（0.1mm以上）の振動変位解析をCCDカメラと顕微鏡レンズを用いて行います。
測定物にレーザーを照射し、測定物より反射されたレーザーと内部レファレンスレーザーとの間で干渉縞を作成します。この干渉縞を高精度の顕微鏡レンズとCCDカメラで画像処理ボードを通して、デジタルデータとしてPCに取り込みます。メムスマップは測定物の振動と変形を、リアルタイムモード及び位相変調法の2つの異なる手法で測定することができます。
リアルタイムモードでは、振動と変形量を測定物イメージに上にフリンジパターン（等高線図）でオーバーラップさせて表示します。周波数をスウィープすることにより共振点の振動モードを容易に観察することができます。また位相変調法を用いると、振動モード、変位モードをアニメーションや3Dプロットで表示することができるので、非常に優れた定量的及び定性的な振動・変位解析を行うことができます。
静的変形測定右図は寸法3x3mmのシリコンメンブレンのガス圧力により変形されたときの変位モードです。リアルタイムで測定物上にフリンジパターンをオーバーラップし変位量が表示されるので、変位解析が簡単に確認できます。測定感度は位相変調法を使用することにより、約1nmに高めることができます。
下のアニメーションは超音波部品:14.3MHz & 水晶振動子:4.1MHzでの振動モードの3Dプロット例です。この3Dプロットは実際の振動状態の位相情報も含まれており、位相情報を0から2πまで変化させることにより、測定物の振動状態をアニメーションで確認することができます。振動測定で位相変調法を使用するとき、マイクロマップは測定物の加振周波数も同様にコントロールし、振動振幅は約1nm,周波数範囲は数百メガヘルツまで測定可能です。
| 測定対象体 | |
| 大きさ・寸法 | 0.1x0.1mm〜3x3mm |
| 最小振動振幅範囲 | 1nm |
| 最小変位振幅範囲 | 1nm |
| 測定周波数範囲 | 30Hz以上〜無制限 |
| 位相変調法使用時 | 30Hz〜300MHz （1GHzまでオプション対応可能） |
| 測定対象体温度 | -50℃〜1500℃ |
マイクロマップ技術資料（PDF 1.02MB）
マイクロマップカタログ（PDF 2.16MB）
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