
マイクロマニピュレータ社は1956年に米国ネバダ州に設立され、60年間以上に渡り半導体デバイス解析用 プロービング関連装置一筋に開発製造を行っている会社です。 その長年の経験が反映されたサーキットボード用プローブステーション(プローバー)と各種アクセサリーをご紹介差し上げます。
製品概要
マニピュレータ(ポジショナー)に装着しDUTプロービングする為に、用途に合わせた各種のプローブホルダーとプローブ針がラインナップされています。
プローブホルダー
- モデル7シリーズのプローブ針を先端にセットスクリューで固定し、マニピュレーターに装着してご使用頂けます。
- 単線型、同軸(BNC)型、トライアキシャル型、同軸ケルビン接続型、トライアキシャルケルビン接続型、高温対応型等各種プローブホルダーが用意 されています。
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同軸・トライアキシャル型プローブホルダー -
同軸・トライアキシャルのケルビン接続型プローブホルダー
プローブ針 モデル7シリーズ交換用プローブ針
- モデル7シリーズのプローブ針は先端形状、材質により各種ラインナップがあります。詳細はカタログの仕様表をご参照下さい。
- 高耐久性の汎用目的ではモデル7B型(先端部曲率半径0.5 μm)、小ターゲットのプローブ用にはモデル7A型(同前0.35 μm)、小ターゲット高温用にはモデル7F型(同前0.5 μm)、極小ターゲット用にはモデル7X型(同前0.1 μm)、最柔軟性ではモデル7S型(同前0.35 μm)等目的に合わせた多くのモデルが準備されております。
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7B -
7A,7F, 7X -
7S

モデル44シリーズ高周波用プローブ
- モデル44シリーズはDCから3GHzまでの高周波のプロービンブに対応したプローブホルダーと針が一体型のプローブです(針は交換できません)。
- UMC, SMA型コネクタが採用され、ケルビン接続等、各種ラインナップがあります。

マニピュレータ
- マニピュレータをテストステーションのプラテンに装着する為に真空吸着ベースとマグネットベースの2種類用意されています。
- X,Y,Z軸がリニア動作のモデル525型(両手用)と円弧動作の450型(左手用)、550型(右手用)があり、525型には更に微細なターゲットのプロービング用にモデル2525型も用意されています。
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モデル525マニピュレータ(ポジショナー) -
プローブホルダーにモデル7シリーズのプローブ針を組み合わせたマニュピレータを2210プローブステーションに装着
技術仕様
プロービングターゲット: 1 μm以下 | 525型、550/450型共通 |
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X,Y,Z軸動作: 100TPI(Threads Per Inch) | 525型、550/450型共通 |
200TPI | 2525型 |