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製品案内

プロバー& プローブ針

プローブホルダー
プローブ針 & マニピュレータ

マイクロマニピュレータ社は1956年に米国ネバダ州に設立され、60年間以上に渡り半導体デバイス解析用 プロービング関連装置一筋に開発製造を行っている会社です。
その長年の経験が反映されたサーキットボード用プローブステーション(プローバー)と各種アクセサリーをご紹介差し上げます。
イメージ
製品概要

マニピュレータ(ポジショナー)に装着しDUTプロービングする為に、用途に合わせた各種のプローブホルダーとプローブ針がラインナップされています。

プローブホルダー
  • モデル7シリーズのプローブ針を先端にセットスクリューで固定し、マニピュレーターに装着してご使用頂けます。
  • 単線型、同軸(BNC)型、トライアキシャル型、同軸ケルビン接続型、トライアキシャルケルビン接続型、高温対応型等各種プローブホルダーが用意 されています。
同軸・トライアキシャル型プローブホルダー

同軸・トライアキシャル型プローブホルダー

同軸・トライアキシャルのケルビン接続型プローブホルダー

同軸・トライアキシャルのケルビン接続型プローブホルダー

プローブ針
モデル7シリーズ交換用プローブ針
  • モデル7シリーズのプローブ針は先端形状、材質 により各種ラインナップがあります。詳細はカタログ の仕様表をご参照下さい。
  • 高耐久性の汎用目的ではモデル7B型(先端部曲率半径0.5μm)、小ターゲットのプローブ用にはモデル7A型(同前0.35μm)、小ターゲット高温用にはモデル7F型(同前0.5μm)、極小ターゲット用にはモデル7X型(同前0.1μm)、最柔軟性ではモデル7S型(同前0.35μm)等目的に合わせた多くのモデルが準備されております。
7B

7B

7A,7F, 7X

7A,7F, 7X

7S

7S

モデル44シリーズ高周波用プローブ
  • モデル44シリーズはDCから3GHzまでの高周波のプロービンブに対応したプローブホルダーと針が一体型のプローブです(針は交換できません)。
  • UMC, SMA型コネクタが採用され、ケルビン接続等、各種ラインナップがあります。
モデル44-D型高周波用プローブ(ケルビン接続)コネクタはUMCまたはSMA

モデル44-D型高周波用プローブ(ケルビン接続)コネクタはUMCまたはSMA

マニピュレータ
  • マニピュレータをテストステーションのプラテンに装着する為に真空吸着ベースとマグネットベースの2種類用意されています。
  • X,Y,Z軸がリニア動作のモデル525型(両手用)と円弧動作の450型(左手用)、550型(右手用)があり、525型には更に微細なターゲットのプロービング用にモデル2525型も用意されています。
モデル525マニピュレータ(ポジショナー)

モデル525マニピュレータ(ポジショナー)

プローブホルダーにモデル7シリーズのプローブ針を組み合わせたマニュピレータを2210プローブステーションに装着

プローブホルダーにモデル7シリーズのプローブ針を組み合わせたマニュピレータを2210プローブステーションに装着

技術仕様
プロービングターゲット: 1μm以下 525型、550/450型共通
X,Y,Z軸動作: 100TPI(Threads Per Inch) 525型、550/450型共通
200TPI 2525型
サーキットボード用プローブステーション
2210-LS-FS8-A
  • PCB等基板上にマウントされた通電動作状態のDUT(例:パッケージ上部が取り除かれチップが露出した半導体デバイス)や基盤上の配線にマニピュレーターに装着されたプローブ針でプロービングし、不良解析等の試験を行う事ができます。
  • プローブステーションのプラテン(左右)にはそれぞれ 最大5台づつ計10台のマニピュレータを装着することができます。
  • 新開発オプションの温度対応ユニット2210-LS-T-ADPTを組み合わせる事により0~85℃の温度環境下でのプロービングが可能となりました。この機能はサーキットボード用プローブステーションでは世界唯一です。
  • マイクロマニピュレータ社の各種アクセサリーと組み合わせることで、多彩な条件下でのプロービングを行う事が可能です。
モデル2210-LS-FS8-A型サーキットボード用プローブステーション

モデル2210-LS-FS8-A型
サーキットボード用プローブステーション

技術仕様
テーブルサイズ 30×36inchi
ホールド可能な基盤サイズ
(温度可変機能無し)
26×26inchi
ホールド可能な基盤サイズ
(オプションの温度可変機能有り)
10×10inchi
マイクロスコープの移動範囲 17×24inchi
電源 115V単相、10A (温度変化機能オプションが無い場合)
オプション 2210-LS-T-ADPT基盤の温度変化機能ユニット
(温度印加装置は別途必要)、他
温度精度:±2℃(@DUT)
動的粘弾性測定装置
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